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青島凈化工程的溫濕度控制!

2021-07-30 17:18:17

青島凈化工程的溫度和濕度主要根據工藝要求確定,但在滿足工藝要求的情況下,應考慮人的舒適度。隨著空氣潔凈度要求的升高,工藝對溫度和濕度的要求越來越嚴格。具體工藝對溫度的要求以后會列出,但作為一般原則,由于加工精度越來越精細,對溫度波動范圍的要求也越來越小。例如,在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中,玻璃和硅片作為掩膜板材料的熱膨脹系數差異越來越小。


青島凈化工程


硅片直徑為100um,溫度上升1度,造成0.24um線性膨脹,因此要有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗后,會對產品造成污染,尤其是怕鈉的半導青島凈化工程,這種車間溫度不能超過25度,濕度過高造成的問題更多。當相對濕度高于55%時,冷卻水管壁會結露,如果發生在精密裝置或電路中,會造成各種事故。當相對濕度為50%時,容易生銹。另外,當濕度過高時,硅片表面粘附的灰塵會被空氣中的水分子化學吸附,難以去除。相對濕度越高,粘附越難去除,但當相對濕度低于30%時,由于靜電的作用,顆粒容易吸附在表面,大量半導體器件容易擊穿。硅片生產的佳濕度范圍為35-45%。


青島凈化工程


在青島凈化工程的基礎建設中,要利用好以上方法,從設計到施工,注重效率和產品質量,在高效的前提下進行優質的工程建設。

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